621.3.049.77
О-184 2	Облонский, Леонид     Анализ и прогнозирование количественных показателей надежности механических узлов оборудования микроэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.07 / Гос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1988. — 22 с.