621.3.049.77 Р244 2 Рассамакин, Владимир     Плазмохимическое осаждение пленок нитрида кремния для полупроводниковых СБИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / АН УкрССР, Ин-т полупроводников. — Киев, 1990. — 16 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт