|
| 621.3.049.77 | Ф57
2 | Филь, Николай
Исследование и разработка технологии формирования тонкопленочных микроконфигураций для использования в гибких производственных системах изготовления изделий микроэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1985. — 23 с. | |
| | |
|
