|
| 621.37/38 | Р997
2 | Рятсеп, Юло
Исследование влияния технологического микроклимата в производстве интегральных микросхем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.12.18 / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калмыкова. — Таганрог, 1983. — 24 с. | |
| | |
|
