004.71
С173 2	Самойлов, Валерий     Разработка автоматизированной подсистемы выбора параметров оборудования на ранних стадиях проектирования (на примере полупроводникового производства) [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.12 / Воронеж. технолог. ин-т, Науч.-исслед. и-нт полупроводникового машиностроения. — Воронеж, 1984. — 17 с.