621.316.771 | К642 2 | Кондрашов, Павел Модификация свойств фото- и электронорезистов при облучении ионами [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.12.18 / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностр. — М., 1984. — 22 с. |
| | |
|