621.382.8
К562 2	Коваленко, Александр     Разработка метода и исследование влияния сборочных операций на состояние поверхности диэлектрических пленок микросхем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.12.18 / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностр. — М., 1983. — 27 с.