621.382.2/3
Р702 2	Ромм, Генрих     Исследование и разработка комплекса алгоритмов и программ геометрического и схемо-топологического контроля фрагментов МДП БИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.12 / М-во высш. и сред. спец. образования СССР, Ленингр. ин-т точной механики и оптики. — Л., 1981. — 18 с.