621.52
С605 2	Соломатин, Виталий     Разработка методов оценки экологических характеристик функциональных механизмов вакуумного технологического оборудования производства изделий электронной техники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.07; 05.02.04 / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностр. — М., 1989. — 27 с.