621.3.049.77
Ш626 2	Шинкаревский, Борис     Полимерные слои, сформированные методом плазменной полимеризации органических и кремнийорганических мономеров в производстве СБИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1989. — 16 с.