Karkulovskyi, Bogdan     Models of mechanical components of MEMS [Текст] / Bogdan Karkulovskyi, Vasyl Teslyuk, Olesya Vashсhyshyn // Perspective technologies and methods in MEMS design : proc. of IXth Intern. conf., 16-20 Apr. 2013, Polyana, Ukraine / Lviv Polytechn. Nat. Univ. — Lviv : Lviv Polytechnic Publ. House, 2013. — P. 31.