Kosoboutskyy, Petro     Acoustic method of control of parameters of plane-parallel surfaces of MEMS elements [Текст] / Petro Kosoboutskyy, Maryana Karkulovska // Perspective technologies and methods in MEMS design : proc. of IXth Intern. conf., 16-20 Apr. 2013, Polyana, Ukraine / Lviv Polytechn. Nat. Univ. — Lviv : Lviv Polytechnic Publ. House, 2013. — P. 50-55.