|
| 621.385.8 | С891
2 | Суворинов, Александр
Разработка систем электронно-лучевого оборудования для анализа полупроводниковых структур и функционирования интегральных схем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.02.12 / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностр. — М., 1984. — 20 с. | |
| | |
|
