621.793 | Я903 2 | Яхин, Рафик Исследование метода и разработка оборудования для термоионного осаждения тонких пленок [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.07 / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Москов. ин-т электрон. машиностр. — М., 1986. — 30 с. |
| | |
|