Зведений каталог бібліотек Львова

 

621.793
Я903
2
Яхин, Рафик
    Исследование метода и разработка оборудования для термоионного осаждения тонких пленок [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.07 / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Москов. ин-т электрон. машиностр. — М., 1986. — 30 с.


- Теми документа

  • УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опором. Металізація



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка» 1 Перейти на сайт