|
| 658.5.012.2 | У467
2 | Уксусов, Аркадий
Разработка комплектов оборудования и гибких автоматизированных линий для производства полупроводниковых структур ИС и БИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.07 / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностр. — М., 1986. — 27 с. | |
| | |
|
