621.3.049.77
С37 2	Симакин, Сергей     Исследование ионно-индуцированных токов в пленочных структурах с целью управления процессами ионно-плазменной обработки [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностр. — М., 1987. — 24 с.