621.3.049.77
Ш382 2	Шевяков, Василий     Разработка конструктивно-технологических методов изготовления активных элементов ИС с барьером Шоттки на основе силицида титана [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1985. — 21 с.