|
| 621.315.592 | Ш234
2 | Шапкарина, Галина
Разработка математической модели и алгоритма оптимального управления процессом эпитаксиального наращивания пленок кремния [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.07 / МВ и ССО СССР, Моск. ин-т стали и сплавов. — М., 1987. — 21 с. | |
| | |
|
