|
| 621.3.049.77 | Ч-571
2 | Чечерников, Игорь
Анализ напряженно-деформированного состояния системы пленка-антиадгезив-подложка и разработка технологии получения пленочных изделий на основе титана из молекулярных пучков [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1985. — 20 с. | |
| | |
|
