621.3.049.77 Ч-835 2 Чугувов, Валерий     Разработка процессов технологии изготовления СВЧ МИС на арсениде галлия [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1989. — 22 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт