621.3.049.77
Х862 2	Хохлов, Михаил     Исследование и разработка основных технологических процессов создания трехмерных интегральных схем на основе пленок рекристаллизованного кремния [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1988. — 20 с.