621.396.6
Т136 2	Тадевосян, Самвел     Разработка и исследование процесса лазерной рекристаллизации пленок поликристаллического кремния для создания активных и пассивных элементов БИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1985. — 24 с.