|
| 621.93.026 | Т363
2 | Теслев, Александр
Исследование технологических факторов и разработка средств активного контроля процесса алмазной резки кремния [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1988. — 25 с. | |
| | |
|
