|
| 621.315.592 | С345
2 | Сигалов, Эдуард
Принципиальные основы создания оборудования для производства эпитаксиальных структур кремния в газофазных процессах [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1990. — 36 с. | |
| | |
|
