621.382.002
Н74 2	Новое в технике полупроводникового производства [Текст] / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Воронеж. област. правление науч.-техн. общ-ва радиотехники, электроники и связи им. А. С. Попова ; [науч. ред. В. Ф. Сыноров]. — Воронеж : Изд-во Воронеж. ун-та, 1971. — 184 с.