621.382.8(06) | М825 2 | Московский институт электронной техники [Текст] : сборник науч. тр. по проблемам микроэлектроники / М-во высш. и сред. спец. образования СССР, Моск. ин-т электр. техники ; [отв. ред. Ю. М. Мурзин]. — Вып. XII. — М. : [б. и.], 1972. — 201 с. |
| | |
|