621.382.8(075.8) | А64 3 | Аналіз, проектування та розрахунок технологічних процесів мікроелектроніки [Текст] : метод. вказівки для практ. занять з курсу "Технол. процеси в мікроелектроніці" для студ. напряму 6.09.10 "Електрон. апарати" / М-во освіти і науки України, Нац. ун-т "Львів. політехніка" ; [уклад.: М. Д. Матвійків, Л. М. Смеркло]. — Л. : Вид-во Нац. ун-ту "Львів. політехніка", 2002. — 16 с. |
| | |
|