| | Бессонов, А. В. Закономерности процесса формирования полупроводниковых наноструктур с помощью фокусированного ионного пучка [Текст] / А.В. Бессонов, В.К. Неволин, А.В. Ромашкин, К.А. Царик // Известия высших учебных заведений. Электроника [Текст] : науч.-техн. журн. / Моск. ин-т электрон. техники. — С. 27-32. |
| | |
|