004.414.2 | Т363 2 | Теслюк, Василь Методи, моделі та засоби автоматизації визначення ємнісних і резистивних параметрів елементів МЕМС [Текст] : монографія / М-во освіти і науки України, Нац. ун-т "Львів. політехніка". — Львів : Вид-во Львів. політехніки, 2015. — 180 с. |
| ISBN 978-617-607-719-0 | |
|