539.23(075.8)
М225 2	Мамонов, Владимир     Технология получения пассивных элементов термическим испарением в вакууме при изготовлении гибридных пленочных микросхем [Текст] : учеб. пособие / НЭТИ, Каф. конструирования и технологоии пр-ва радиоаппаратуры ; отв. за вып. Л. Л. Прочаков. — Новосибирск : [б. и.], 1973. — 72 с.