621.382.8(075.8)
Б90 2	Бубенников, Александр     Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем [Текст] : учеб. пособие для вузов по специальности "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники" / Александр Бубенников. — М. : Высш. шк., 1989. — 320 с.
ISBN 5-06-000123-7