004.085 М545 2 Петров, Вячеслав     Методи нанолітографії [Текст] / [відп. ред. О. Г. Додонов] ; НАН України, Ін-т проблем реєстрації інформації. — Київ : Наук. думка, 2015. — 262 с. ISBN 978-966-00-1467-1

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	3	Перейти на сайт