66.065 О-72 2     Осаждение из газовой фазы [Текст] / под ред. К. Пауэлла, Дж. Оксли, Дж. Блочера; сокр. пер. с англ. М. И. Юрченко. — М. : Атомиздат, 1970. — 472 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт