621.315.592.002
М545 2	Методические указания к курсу "Технология полупроводниковых материалов и приборов": влияние кристографических дефектов [Текст] : для студентов специальности 20.03 " Микроэлектроника и полупроводник. приборы " / сост. Ю. Д. Кобцев. — Киев : КПИ, 1989. — 52 с.