621.382.002 | Б435 2 | Белов, Игорь Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] / Игорь Белов, Владимир Шеленкевич, Леонид Шуб. — Л. : Политехника, 1991 . — 287, [1] с. |
| ISBN 5-7325-0001-4 | |
|