Зведений каталог бібліотек Львова
621.382.002(075.3)М8092Моряков, Олег Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве [Текст] : учеб. пособие для проф.-техн. учебн. заведений / Олег Моряков. — М. : Высш. шк., 1974. — 144 с.
- Теми документа