621.382.8 Б484 2 Березин, Геннадий     Оптические основы контактной фотолитографии [Текст] / Геннадий Березин, Аркадий Никитин, Роберт Сурис. — М. : Радио и связь, 1982. — 103 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	6	Перейти на сайт