621.382.002(075.8) Б69 2 Блинов, Иван     Оборудование полупроводникового производства [Текст] : учеб. пособие для приборостроит. специльностей вузов / Иван Блинов, Лев Кожитов. — М. : Машиностроение, 1986. — 263 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	68	Перейти на сайт