621.3.049.77
С718 3	Специальное технологическое и контрольно-измерительное оборудование для производства микроэлектронных изделий [Текст] : каталог / [под общ. ред. Н. Н. Пересветова ; сост.: Я. Б. Манелис, А. Н. Щербакова, В. Ф. Гараева и др.]. — Ярославль : НПО "Электронприбор", 1992. — 635 с.