621.382.8.002(075.8)
Ч-498 2	Черняев, Владимир     Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров [Текст] : учеб. для вузов по специальности "Конструирование и пр-во электр.-вычисл. аппаратуры", "Конструирование и пр-во радиоаппаратуры" / Владимир Черняев. — 2-е изд., перераб. и доп. — М. : Радио и связь, 1987. — 463, [1] с.