621.382.8 Б88 2 Броудай, Ивор     Физические основы микротехнологии [Текст] / пер. с англ. В. А. Володина, В. С.Першенкова, Б. И. Подлепецкого ; под ред. А. В. Шальнова. — М. : Мир, 1985. — 494 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	13	Перейти на сайт