519.87
Б125 2	Бабій, Надія     Моделі процесів дифузійного перенесення і методи оцінювання технологічних параметрів в багатошарових наноплівках [Текст] : атореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.05.02 / М-во освіти і науки України, Тернопіл. нац. техн. ун-т ім. І. Пулюя. — Тернопіль, 2013. — 20 с.