621.315.592
Х684 3	Ховерко, Юрій     Розроблення елементів сенсорної техніки на основі структур кремній-на-ізоляторі та мікрокристалів кремнію, модифікованих домішками бору і нікелю [Текст] : дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / М-во освіти і науки України, Нац. ун-т "Львів. політехніка". — Львів, 2016. — 287 с.