004.896(075.8) | Я227 3 | Яворський, Назарій Комп'ютерні методи в інженерії мікроелектромеханічних систем [Текст] : навч. посіб. / М-во освіти і науки України, Нац. ун-т "Львів. політехніка". — Львів : Вид-во Львів. політехніки, 2016. — 304 с. |
| ISBN 978-617-607-892-0 | |
|