621.382.002(075.3) | М294 2 | Мартынов, Валерий Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Текст]. Литографические процессы : в 10 кн.: учеб. пособие для ПТУ / Валерий Мартынов, Татьяна Базарова. — М. : Высш. шк., 1990. — 128 с. |
| ISBN 5-06-001080-5 | |
|