Зведений каталог бібліотек Львова
539.23Т5722Борисенко, А. И. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике [Текст] / АН СССР, Ин-т химии силикатов им. И. В. Гребенщикова. — Л. : Наука, 1972. — 114 с.
Автор: Борисенко А.И., Новиков В.В., Прихидько Н.Е., Митникова И.М., Чепик Л.Ф.
- Теми документа