Lobur, M.     MEMS pressure sensors design by the COMSOL system [Текст] / M. Lobur, D. Vivchar, N. Jaworski // Modern problems of radio engineering, telecommunications and computer science (TCSET'2016) : proc. of the XIII Intern. conf., febr., 23-26, 2016, Lviv-Slavske, Ukraine / Min. of Education and Science of Ukrainiane, Lviv Polytechn. Nat. Univ. — Львів : Вид-во Львів. політехніки, 2016. — P. 156-158.