|
| 621.382 | Х932
3 | Хрипко, Сергій
Модифікування структур системи кремній-пористий кремній-нанорозмірні плівки оксидів (SiO2, SnO2, ZnO) для пристоїв електронної техніки [Текст] : дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / М-во освіти і науки України, Нац. ун-т "Львів. політехніка". — Львів, 2016. — 303 с. | |
| | |
|
