621.382.8(075.3) В36 2 Верховский, Евгений     Лазерная технология в производстве интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособие для ПТУ / Евгений Верховский. — М. : Высш. шк., 1990. — 54, [2] с. ISBN 5-06-001078-3

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	6	Перейти на сайт