621.382.8 Д182 2 Данилин, Борис     Ионное травление микроструктур [Текст] / Борис Данилин, Валерий Киреев. — М. : Сов. радио, 1979. — 103 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	9	Перейти на сайт